本文摘要：在上海嘉定工业区，近5000平方米的高等级微纳加工超净厂房内，上海微技术工业研究院（以下全称“工研院”）与国际领先的晶圆厂密切合作建构的8英寸“打破摩尔”研发中试线上，于是以“跑完”着数十片晶圆。由工研院建设的8英寸“打破摩尔”研发中试线月启动，空缺了我国微机电系统智能传感器领域缺少小批量中间性试验生产线的空白。8英寸研发中试线的启动，不仅构建了从研发到量产的无缝交会，更加非常丰富原始了国内的“打破摩尔”生态链，是对标国际产业竞争的关键一环。

在上海嘉定工业区，近5000平方米的高等级微纳加工超净厂房内，上海微技术工业研究院（以下全称“工研院”）与国际领先的晶圆厂密切合作建构的8英寸“打破摩尔”研发中试线上，于是以“跑完”着数十片晶圆。由工研院建设的8英寸“打破摩尔”研发中试线月启动，空缺了我国微机电系统智能传感器领域缺少小批量中间性试验生产线的空白。8英寸研发中试线的启动，不仅构建了从研发到量产的无缝交会，更加非常丰富原始了国内的“打破摩尔”生态链，是对标国际产业竞争的关键一环。

中国科协副主席、中国科学院院士王曦说明说道，“打破摩尔”所指的是仍然只遵循摩尔定律，在半导体工艺尺寸上越做越小，而是在成熟期的工艺生产线上，研发非数字、多元化半导体技术与产品。“打破摩尔”将仍然局限于依赖尺寸转变去前进集成电路制程节点，更加推崇材料、工艺、结构等多维度的创意，从而构建传感器等其他新兴技术领域“换道转弯”。传感器，坐落于整个物联网的基础层，是数据采集的入口，也是物联网的基石。

然而代工厂不愿相接，小批量中试到处可做到，沦为我国传感器等微机电系统研发机构的众多共性难题。8英寸研发中试线运营副总裁、厂长游家杰回应，当前我国大约60%的传感器都是靠进口，缺口相当大，特别是在是微机电系统智能传感器，完全全部倚赖进口。目前，在“打破摩尔”领域，比起于业界广泛用于的6英寸产线，全线贯通从研发到量产全程服务的上海微技术工业研究院8英寸线是普遍认为的领先技术。据涉及人士透漏，整个生产线修建投放近10亿元，目前一期3000平方米已投入使用。

据报，8英寸研发中试线将专心于“打破摩尔”传感器产品技术的研发，可以全面积极开展表面、体、3D微纳加工以及新工艺、新的器件、新的系统的研发，并根据“打破摩尔”产品和技术特点部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D构建、MR磁传感、功率及生物等涉及工艺和量测设备。作为国内第一条先进设备8英寸研发中试线，不仅可分担产品研发、小批量生产、技术培训、设备检验等服务，有助提高研发的成功率，更加将助力构建“打破摩尔”产品和技术从研发到量产的无缝交会。

游家杰讲解，新的竣工的研发中试线，目前规定生产能力是每月生产3000片左右晶圆，后期将超过5000片。“我们可以承托用户从几百片到上千片的生产能力市场需求，小规模订单再行在中试线上产卵，一旦前期市场测试顺利，就可以把大批量订单移往给大型代工厂，开始规模量产。

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