本文摘要：总结国内平板表明行业的10年发展，无论是此前CRT、PDP与LCD之争，还是现在新型表明技术OLED与液晶技术之争，我们都可以看见新技术于是以渐渐兴起。显示器行业于是以处在技术变革和市场需求变革的时代。应用材料公司平板表明CVD产品事业部总经理肖劲松这样布道。 只不过我们在各大重量级的展览上，如美国的CES，德国的IFA等等都可以感受到表明技术发展之很快。而2014年CES展览上曲面、4k、OLED沦为注目的焦点。

总结国内平板表明行业的10年发展，无论是此前CRT、PDP与LCD之争，还是现在新型表明技术OLED与液晶技术之争，我们都可以看见新技术于是以渐渐兴起。显示器行业于是以处在技术变革和市场需求变革的时代。应用材料公司平板表明CVD产品事业部总经理肖劲松这样布道。

　　只不过我们在各大重量级的展览上，如美国的CES，德国的IFA等等都可以感受到表明技术发展之很快。而2014年CES展览上曲面、4k、OLED沦为注目的焦点。

当1080P正在渐渐南北主流时，4K表明时代又悄悄到来，与此同时8K表明又跃跃欲试。这些现象归因于在于人们对更高视觉体验的执着仍然没间断，我们正在庆贺一个低解析度表明时代。为应付全新的技术挑战，客观上必须面板厂商与上游设备和材料供应商密切合作。

　　应用材料公司作为全球仅次于的半导体设备及服务供应商，同时在显示器领域大大研发新技术，推展表明技术南北未来。由于在平面显示器生产电浆增强化学气相沉积(PECVD)技术领域的突出贡献，应用材料荣获了2013年度IEEE企业创新奖。IEEE是全球仅次于的专业协会，以增进人类科技迈进为宗旨。

3月20日，应用材料公司平板表明CVD产品事业部总经理肖劲松以及PVD产品事业部研发总监MarcusBender博士为我们共享了应用材料公司在低解析度表明时代的TFT和TFE解决方案。　　一、金属氧化物TFT解决方案　　金属氧化物对于设备稳定性及表明色差（Mura）拒绝较为低，同时金属氧化物主要应用于在高清晰度的移动设备和OLEDTV上面，对于颗粒度拒绝更高，必须通过颗粒度的掌控来提升良品率。　　应用材料公司的CVD使用双层膜结构，在传统氮化硅基础上使用二氧化硅膜层。

二氧化硅含氢量较为较低，这样就能超过很好的均匀分布性。而在PVD方面通过提高IGZO的膜薄以及均匀分布性，同时使用地颗粒度的系统设计，来防止金属氧化物色差（Mura）的产生。正是基于在CVD及PVD方面的独有工艺与设计，目前全球主要的厂商都使用应用材料公司的设备。

　　具体来讲，CVD使用空心阴极梯度递增技术（HCG），在大面积玻璃表面构成均匀分布的等离子体，确保大规模化学沉积的均匀分布性。另外使用自上而下的RPSC工艺（远程等等离子体清除），提高均匀分布性。通过这些设计，可以超过第十代的膜薄均匀分布性。而在PVD方面，相对于传统工艺来说，使用了转动阴极的解决方案。

转动靶可以减少气流均匀分布性，对于膜层均匀分布性提高有相当大的协助。同时转动靶需要使结瘤和再行沉积最小化，相对于传统平面靶在缺失掌控上有相当大的提高。

　　二、LTPS（低温多晶硅）TFT解决方案　　高分辨率移动表明时代，随着相近体积的增大，OLED和LCD屏幕都必须使用双电容技术。对于CVD及PVD均匀分布性和较低颗粒度特性都明确提出了新的拒绝。应用材料公司是业界唯一一家需要获取从5.5代、6代到8.5代生产设备解决方案的企业。在PVD均匀分布性方面，应用材料公司在2013年为10%到8%，2014年超过5%，2015年将超过3%。

　　在CVD方面2014年将重点研发锁住阀门隔热及零冲击狭缝阀技术，来尽量减少震动带给的副产物沉积。而在PVD方面，之后优化薄膜均匀分布性。

通过摆动和SSM（定向对角喷发物）、切角加工构建边缘无膜区、材料分段数等方式来提升薄膜的均匀分布性。　　三、薄膜PCB解决方案　　OLED薄膜PCB对于更加可信、坚硬的隔绝层，增加颗粒，边缘阶梯覆盖面积及MASK对准精度明确提出新的挑战。

为此，应用材料公司明确提出全新的全CVD膜系由结构。在薄膜PCB过程中使用氮化硅做到压水层提升压水性；使用光学对准掩膜板确保出有片率；使用分段流程提升开机率。　　另据应用材料中国区销售经理方甦棣讲解，2013年中国占到全市电视机市场的26%，同时中国智能手机也占到全球32%。

中国正在茁壮为全球仅次于的显示屏生产国以及表明产业投资国，并且对于新型表明技术的研发和接受度渐渐提高。应用材料公司已在国内市场耕耘30年，具备很好的本土化优势，也将与中国客户更为密切合作，加快新技术引入与新产品上市。

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